secs gem簡介
SECS/GEM是SEMI所制定的設備通訊標準與通用設備模型。它是一種通訊協定,定義了設備和它的上層主機二者之間,在通訊時所有需要的大方向與小細節。,,2022年3月23日—一SECS(SEMI设备通信标准)和GEM(制造设备通信与控制的通用模型)标准由半导体制造商的国际组织SEM...
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SECS/GEM是SEMI所制定的設備通訊標準與通用設備模型。它是一種通訊協定,定義了設備和它的上層主機二者之間,在通訊時所有需要的大方向與小細節。
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